氦離子色譜儀的工作原理通常都認(rèn)為是基于潘寧效應(yīng)(Penning effect)，它利用β射線，高壓直流放電、脈沖放電、光輻射等能量，以及在高壓電場(chǎng)加速下獲得能量的二次電子與氦原子碰撞，將載氣中部分氦原子自基態(tài)躍遷到不同能級(jí)的激發(fā)態(tài)，生成亞穩(wěn)態(tài)氦原子He*(23S，19.8ev)和氦離子He+(1S2S1/2，24.5ev)等，亞穩(wěn)態(tài)氦原子間的相互碰撞又將部份的亞穩(wěn)態(tài)氦激發(fā)為氦離子，放出電子，各種能級(jí)的激發(fā)態(tài)氦和其它高能粒子與樣品中被測(cè)組份的原子或分子碰撞，將能量傳遞給它們，并使之電離，按上述機(jī)理，被測(cè)組份的原子或分子的電離方式大致有：

　　（1）檢測(cè)器內(nèi)的β射線或高能電子直接與被測(cè)組份的原子或分子相互碰撞發(fā)生能量傳遞而電離；

　?。?）能量為19.8ev的亞穩(wěn)態(tài)He*與被測(cè)組份的原子或分子相互碰撞發(fā)生能量傳遞而電離；

　　（3）能量為24.5ev的氦離子He+與被測(cè)組份的原子或分子相互碰撞發(fā)生能量傳遞而電離。

　　氦離子色譜儀是一種對(duì)混合氣體中各組分進(jìn)行分析檢測(cè)的儀器。樣品由載氣帶入，通過(guò)對(duì)欲檢測(cè)混合物中組分有不同保留性能的色譜柱，使各組分分離，依次導(dǎo)入檢測(cè)器，以得到各組分的檢測(cè)信號(hào)。按照導(dǎo)入檢測(cè)器的先后次序，經(jīng)過(guò)對(duì)比，可以區(qū)別出是什么組分，根據(jù)峰高度或峰面積可以計(jì)算出各組分含量。現(xiàn)在已成為一種常規(guī)的氣體分析方法，它具有線性寬，靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于高純氣體樣品的分析和其他檢測(cè)器相比，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。經(jīng)過(guò)和常規(guī)TCD+FID氣相色譜法比較，對(duì)四氟化碳中的雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，以期得到對(duì)于四氟化碳中雜質(zhì)檢測(cè)的方法，并為建立四氟化碳行業(yè)分析標(biāo)準(zhǔn)提供依據(jù)。